“多重曝光技術(shù)？”
站在高永明右側(cè)的工程師露出抹不解，他叫唐鑫宇，是龍芯國際光刻團(tuán)隊(duì)的副首席。
他好像聽說過，但記不起來在哪聽過了。
“沒錯(cuò)。”
林天點(diǎn)了點(diǎn)頭，語氣堅(jiān)定道：“DUV光刻機(jī)是可以制造14納米芯片的，它的極限遠(yuǎn)不止于此，理想狀態(tài)是能到7納米。”
高永明：“！！！”
唐鑫宇：“！！！”
曲程：“！！！”
DUV光刻機(jī)極限居然是7納米？
你在開什么玩笑？
陳星也被驚到了，如果真能使用一臺20納米制程的DUV光刻機(jī)造出7納米芯片，那西方會(huì)不會(huì)對此大跌眼鏡？
別看明面上，米國還沒下場封鎖技術(shù)，但背地里，其實(shí)早就限購光刻機(jī)了。
它的做法很簡單，可以賣你龍國光刻機(jī)，但不能賣給你最先進(jìn)的光刻機(jī)。
例如兩年前，28納米還屬于先進(jìn)水平的時(shí)候，28納米制程的DUV光刻機(jī)就不能賣給龍國，誰敢賣，就是和米國作對。
荷蘭敢嗎？
顯然是不敢的，它們也沒有這個(gè)本事。
荷蘭ASML公司說白了，它就是個(gè)光刻機(jī)組裝工廠，沒有米國的光源技術(shù)，它啥也不是。
而到了今天，西方攻克了14納米芯片后，已經(jīng)把目光看向了7納米芯片，自然而然的，20納米DUV光刻機(jī)就被放開了。
米國目的很明顯，允許你用，但不允許你超越。
越是害怕，越會(huì)提防，因?yàn)辇垏琶撾x戰(zhàn)爭不到三十年，就發(fā)展到了世界第二大經(jīng)濟(jì)體，再給發(fā)展三十年會(huì)怎么樣？
沉睡的雄獅，東方的巨龍，它們哪敢不防？
陳星雖然是商人，但同時(shí)也是位龍國商人，如果能在自家搞出14納米芯片，那他還是愿意多支付一些流片費(fèi)用的。
畢竟曲程也說了，之前龍興科技公司申請的國家芯片扶持也走完審核流程，資金和土地都進(jìn)入了最終的批準(zhǔn)環(huán)節(jié)。
“說說使用這個(gè)多重曝光技術(shù)，流片要多少錢？”
陳星表明自己態(tài)度。
林天得到確切的答復(fù)后，述說自己的想法道：
“光刻多重曝光技術(shù)，說通俗直白一點(diǎn)就是，原本只需一塊的芯片掩膜版就可以搞定的生產(chǎn)，現(xiàn)在我們因?yàn)楣饪虣C(jī)精度和分辨率的限制，將它拆分多塊，每一塊都有相對應(yīng)的電路圖案。”
“比如我們要做14納米芯片，可以把設(shè)計(jì)的芯片電路圖案拆開，就得到了兩份28納米間隔的電路圖案，分兩次把它們刻在硅片上，就會(huì)形成完整的14納米芯片電路圖案，就類似于我們龍國的太極圖，一陰一陽互補(bǔ)的意思。”
“因?yàn)槭莾蓧K芯片掩膜版，所以要給雙倍的流片費(fèi)用。”
陳星大致聽明白了，這個(gè)多重曝光技術(shù)就相于要印刷一個(gè)AB字母的組合圖案。
第一步先把AB拆開，得到A與B兩個(gè)圖案，然后將它們分別制作光掩膜版，緊接著用第一塊A字母的掩膜版在硅片上刻了A，再用B字母的掩膜版在硅片上刻上B，最終得到所需要的AB組合圖案。
八個(gè)字概括就是，精度不夠，工序來湊。
“要花兩倍的流片費(fèi)用，高總，14納米的……”
陳星剛想問問流片費(fèi)多少，卻發(fā)現(xiàn)高永明整個(gè)人止不住顫抖，瞳孔微縮的同時(shí)，充滿了恍然大悟與激動(dòng)之色。
他身旁的兩位光刻工程師，也在喃喃低語。
“多重曝光…”
“既然單次精度不夠，為何不分兩次曝光呢？”
“好天才的想法…”
三人似乎進(jìn)入了頓悟狀態(tài)，高永明本身就是干這方面的，同時(shí)也是光刻領(lǐng)域的教授，他自然不會(huì)聽不懂林天在說什么，現(xiàn)在他腦海只有一段話：“多重曝光技術(shù)，DUV光刻機(jī)的春天終于要來了嗎？”
一陰一陽的圖案互補(bǔ)，理論上是絕對可以的，而且還能一分為四，雖然工序更復(fù)雜，還別說，7納米芯片真能造！
曲程也在驚嘆這個(gè)想法，他怎么說也是半導(dǎo)體領(lǐng)域院士，雖然不是光刻方面的，但步驟他可都是一清二楚的。
驚嘆林天想法的同時(shí)，也在感慨陳星運(yùn)氣怎么這么好，可以結(jié)識到這么多天才。
高正謙、白衍、林天這三人，他都可以用怪胎形容了，而陳星可以同時(shí)和他們結(jié)交，并將其收入麾下，怪不得有人說，運(yùn)氣也是實(shí)力的一部分。
不知過去多久，可能有足足十分鐘左右。
“呼——”
唐鑫宇長舒一口氣，看向高永明說道：“生產(chǎn)陰陽芯片掩膜版，沒準(zhǔn)真能突破光刻機(jī)限制，造出14納米芯片。”
“我覺得可以一試。”
另一位龍芯國際的工程師也開口給予肯定。
以往他們的思維是，擁有多少納米精度的光刻機(jī)，就制造多少納米的芯片，這也是國際一直灌輸?shù)目贪謇砟睿屗麄兊乃季S固化。
當(dāng)林天提出多重曝光技術(shù)，并解答原理后，他們瞬間醍醐灌頂，跳出了刻板的固化思維，從而發(fā)現(xiàn)了新大陸。
高永明也是性情中人，雙膝猛然彎曲。
不過林天眼疾手快，一把將他扶住，忍不住吐槽道：“不是，你想干嘛啊？”
“授業(yè)之恩，今生難忘，以貌識人，羞愧難當(dāng)！”
高永明僅用十六個(gè)字，就解釋了他為何想跪。
多重曝光技術(shù)原理，簡直照亮了龍芯國際要前進(jìn)的方向，就如同海上行駛時(shí)所見的燈塔，同時(shí)他也在羞愧，為什么之前要用外表去評判一個(gè)人呢？
解決龐加萊猜想，拒絕數(shù)學(xué)菲爾茨獎(jiǎng)，震驚全世界的佩雷爾曼還是個(gè)不修邊幅的“流浪漢”呢！
還有龍國的一些“掃地僧”，他們同樣不修邊幅，怎么舒服，就怎么來，在課堂講課時(shí)，還有人能當(dāng)眾吸煙喝酒。
在意識到自己犯下錯(cuò)誤后，高永明也是敢于承擔(dān)。
他身旁兩位工程師也照葫蘆畫瓢，想感謝林天的授業(yè)之恩，被陳星一手一個(gè)抱住。
“哎！都快2015年了，就別整這些繁文縟節(jié)了，不如講點(diǎn)實(shí)際的，流片費(fèi)用能不能打個(gè)折。”
陳星是給足了他們臺階，為了維護(hù)氣氛操碎了心。
“是啊！”
曲程也附和一聲，調(diào)侃道：“雖說男兒膝下有黃金，但伱們可別想用來交學(xué)費(fèi)。”
“實(shí)際一點(diǎn)，流片給他們打個(gè)折，就當(dāng)是聽了多重曝光技術(shù)原理的學(xué)費(fèi)。”
“好！”
高永明沒有遲疑，立馬承諾道：“這次14納米芯片的流片費(fèi)用，我龍芯國際全包了！”